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更新時(shí)間：2018-07-23
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凈工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)及如何空氣凈化說明
空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，NASA（美國航空航天中心）和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間。而且創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為凈工作臺(tái)法。這個(gè)主要是把過濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無脫落的物質(zhì)。在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。
在大型車間中按順序排列的工作臺(tái)（叫做工作層流罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。
一般來說，HEPA過濾器裝于凈工作臺(tái)頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺(tái)把HEPA過濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺(tái)。
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